安捷倫提供穩(wěn)定可靠的獨特渦輪分子真空泵和控制器，在學術、科研、納米技術、分析儀器和工業(yè)等廣泛應用中均能提供值得信賴的真空環(huán)境。安捷倫渦輪分子泵抽速范圍為 70-2300 L/s，采用諸多創(chuàng)新設計，并有全面的測試和可靠的售后支持作為保障。

Agilent TwisTorr 技術
-抽氣效應所需要的動量來自于轉子盤，這些動量被傳遞給氣體分子
-氣體分子被迫沿著定子盤上的螺旋通道運動。通道的特殊設計能夠確保局部抽速恒定并避免反向壓力梯度，以大程度降低功耗

向心抽氣作用
轉子盤的下表面區(qū)域能夠將動量傳遞給氣體分子。
位于 TwisTorr 定子盤上表面的螺旋通道產生向心抽氣作用。
離心抽氣作用
轉子盤的上表面區(qū)域能夠將動量傳遞給氣體分子。

好的性能
-TwisTorr 泵能夠對所有氣體提供同級別產品中的抽速
-先進的 TwisTorr 技術還可在市售渦輪分子泵中實現(xiàn)輕質氣體的高壓縮比
-在達到高性能的同時，新型拖動級的設計與之前的設計相比，平均功耗將降低至四分之一

節(jié)省空間的設計
-我們的轉子采用經過驗證的安捷倫一體式轉子設計，在這種設計中，TwisTorr 定子盤置于兩片平滑的轉子盤中間，因此能夠通過兩個串聯(lián)的轉子
盤表面實現(xiàn)抽氣作用
-TwisTorr 定子盤的雙面螺旋通道設計將向心和離心抽氣作用進行串聯(lián)，大大減小了拖動級的尺寸

壓縮比
-與尺寸及轉速相同的 MacroTorr 拖動級相比，單TwisTorr 級的 N2 壓縮比多提高了 100 倍，且不會降低前級耐壓和抽速

分子泵規(guī)格

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片