科研及工業(yè)應用中的真空測量
“可靠、準確、高效”，安捷倫真空規(guī)管和真空計控制器可在廣泛領域內完成對真空系統(tǒng)的測量和控制。安捷倫真空測量技術，為復雜的工業(yè)應用環(huán)境而生。簡約的設計、簡便的操作，將保證您真空系統(tǒng)或真空工藝的省時、高效。逾 50 年的科研領域經驗中，我們的儀器超級準確、穩(wěn)定的特性，完全符合科研院所的要求。同時，通過STARRS Calibration 和支持系統(tǒng)，安捷倫為您提供準確測量。

XGS-600 真空計控制器
XGS-600 真空計控制器可以同時或獨立操作多達 12 個真空計并顯示多達 8 個真空計的讀數(shù)。標準功能包括 8 個設定點和 8 個觸點繼電器。所有設置都存儲在閃存中，因此無需在斷電后花時間進行重新設置。
XGS-600 真空計控制器可以操作對流真空計 (CONV)、熱燈絲真空計 (HFIG)、冷陰極真空計/反磁控真空計 (IMG) 和所有安捷倫主動式真空計 (AN)。XGS-600 控制器內多可安裝 6 個真空計控制電路板，這些電路板可以采用任意組合，以滿足您的應用要求。

特點
簡潔的用戶界面
直觀的屏顯功能
容量、靈活性、可擴展性
采用標準半機架的緊湊設計
一次允許操作 1–12 個真空計，同時顯示多達 8 個真空計的讀數(shù)
實驗室應用、加速器、同步加速器、OEM 設備及其他大型設備的理想選擇
能夠在現(xiàn)場進行擴展和重新配置
可對每個真空計進行模擬量輸出
提供串行接口，所有數(shù)據(jù)保存在無需使用電池的非易失性存儲器中

AGC-100/AGD-100 控制器
AGC-100 是與 FRG-7xx、PVG-5xx、PCG-75x 和 CDG-500 系列主動式真空計兼容的單通道控制器，可以自動識別所連接的主動式真空計。該真空計控制器具有 USB 和以太網端口。AGD-100 是用于 FRG-700/702、PVG-5xx 和 PCG-75x 系列主動式真空計的單通道顯示選件。
兩種型號都具有用戶可選的測量單位（mbar、Torr 和 Pa）以及可調節(jié)的設定點控制。兩種型號都可以顯示幾乎所有同類產品的皮拉尼和冷陰極真空計的讀數(shù)。

特點
自動識別安捷倫主動式真空計，簡化設置
與用戶所選的壓力單位（mbar、Torr 和 Pa）通用兼容
利用壓力讀數(shù)進行重要操作
AGC-100 具有 USB 和以太網接口選件
與幾乎所有同類產品的皮拉尼、冷陰極、熱陰極和電容薄膜真空計兼容

XGS-600真空計控制器性能指標

響應時間	10 ms
安裝架尺寸	2U 1/2 Rack
操作環(huán)境溫度	-5 to +40 °C
標準和認證	EN 61010，EN 61326-3-2 2006，EN6100-3-2 2005，EN61326：1997/A1：1998/A2：符合 2001/A3:2003、EN55011、FCC Part 15 subpart J、CSA1010、RoHS 標準，WEEE
模擬輸出	0-10 VDC
設定點	Eight channels
碼頭環(huán)境溫度	-15 至 +70 °C
輸入電壓	100-240 Vac
通訊接口	RS232                    RS 485

AGC-100/AGD-100控制器性能指標

操作環(huán)境溫度	+5 to +50 °C
測量范圍	1.3 x 10-3 至 1067 mbar，1 x 10-3 至 800 Torr
碼頭環(huán)境溫度	-20 至 +60 °C
輸入電壓	100-240 Vac

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片