液氦低溫探針臺在科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能，從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。

PSM-LHe系列液氦低溫探針臺能夠為半導(dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個4K-475K高低溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。

特點
? 液氦低溫真空探針臺，腔體真空度可達(dá)到10E-4torr。
? 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
? 獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)，能滿足最大4英寸樣品的測試。最多可同時安裝6個探針臂，探針臂可選直流臂、光纖臂、微波臂等。
? 真空腔材質(zhì)為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。
? 探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小于30fA@1V@4K--475K。
? 測試溫度范圍寬，最大支持4K-475K連續(xù)變溫。

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片